BenchMark 450 主要技术参数
XY 精度:E2=(2.5 5L/1000)微米
Z 精度:E1=(2.0 8L/1000)微米 （ 带TTL激光和可选5倍镜头）
| 英制单位 | 公制单位 | ||||||
测量范围 | 18" X18"X6" | 450X450x150毫米 | ||||||
尺寸 | 48" X45"X67" | 1210X1140X1700毫米 | ||||||
负载能力 | 65千克 | |||||||
台面分辨率 | 0.5微米 | |||||||
光学 | 双重放大 (物镜 X) | |||||||
| 低 | 0.8 | 1.0 | 2.5 | 5.0 | 10.0 | 25.0 |
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| 高 | 3.2 | 4.0 | 10.0 | 20.0 | 40.0 | 100.0 |
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标配物镜 | 1X | |||||||
可选物镜 | 0.8X,2.5X,5X | |||||||
照明 | LED 背光,LED 同轴面光 | |||||||
可选特征 | 多色可编程环形灯 (PRL) | |||||||
| Ronchi 栅格自动ju jiao | |||||||
| TTL 激光 |
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| 旋转分度工作台 | |||||||
