系统概述
2.1 本方案涉及的流程及设备是专为制备清洗超纯水而设计：
2.1.1 产水用途：超纯净水
2.1.2 产水水质：符合电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）
电阻率： ≥17.5-18.20Ω.m/㎝ （95%的时间不低于17）
2.1.3 系统终端出水力：5m3/h (20℃)
2.1.4 系统得水率：≥65%
2.1.5 系统配置：预处理、二级反渗透（RO）、混床、抛光混床及相关附助设备。
2.2 本方案主要施工范围如下：
2.2.1 设计界限：从原水箱入口至出口间的所有设备的配置与安装。
2.2.2 其它涉及的设计基础条件将在技术联络中讨论确定。
原水e原水箱e原水增压泵e石英砂过滤器e活性炭过滤器e过渡水箱e阻垢加药装置e保安过滤器e两级高压泵 e中间水箱e两级反渗透（RO）装置e纯水水箱e紫外线杀菌消毒器e精密过滤器e混床e超纯水水箱e纯水水泵e抛光精混床 e0.22μ膜滤器e出水
